Scanned-Spot-Array EUV Imaging for High-Volume Maskless Lithography

Design data and optical simulation code for maskless EUV lithography system

バージョン (13.8 KB)
ダウンロード: 432 件
(1)
2012/10/9
ダウンロード

  • Install in MATLAB

    Requires R2026b and later. Learn more
ダウンロード

  • Install in MATLAB

    Requires R2026b and later. Learn more

現在この提出コンテンツをフォロー中です。

引用

Kenneth Johnson (2026). Scanned-Spot-Array EUV Imaging for High-Volume Maskless Lithography (https://jp.mathworks.com/matlabcentral/fileexchange/37634-scanned-spot-array-euv-imaging-for-high-volume-maskless-lithography), MATLAB Central File Exchange. に取得済み.

カテゴリ

Help Center および MATLAB Answers で Solar Power についてさらに検索

一般的な情報

MATLAB リリースの互換性

  • すべてのリリースと互換性あり

プラットフォームの互換性

  • Windows
  • macOS
  • Linux
新しいタブで開く
バージョン 公開済み リリース ノート
1.6.0

Architectural code revisions; no algorithm changes.
ダウンロード

  • Install in MATLAB

    Requires R2026b and later. Learn more
1.4.0

Code comments revised.
Publication citation revised.
ダウンロード

  • Install in MATLAB

    Requires R2026b and later. Learn more
1.2.0

Description is updated with link to published paper.
ダウンロード

  • Install in MATLAB

    Requires R2026b and later. Learn more
1.0.0

ダウンロード

  • Install in MATLAB

    Requires R2026b and later. Learn more